1) 采用刚性好的固定桥式结构，具有 精度、 性能和 稳定性的优点；

2) 四轴均采用精密滚珠丝杠传动，具有刚性高，反向间隙小、传动精度高的特点；

3) 采用优质花岗岩空气轴承导轨结构，热膨胀系数小，导向精度高，运行平稳；

4)  Y向采用燕尾式气浮导轨设计，使其在X、Z方向具有较强的抗扭强度；

5) Z轴采用独特技术的气浮套结构，偏置力矩小，运动平稳；

6) 光栅尺采口精度插槽式光栅尺；

7) 配备5环8区四色环形光源、轮廓光源、同轴光源，可控光源系统，智能实现光源亮度调节。